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簡要描述：VTC-100PAH真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體工藝、晶體、光盤、制版等表面涂膜制備。VTC-100PAH真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)是一款高性能精密勻膠機(jī)，采用了優(yōu)良的設(shè)計(jì)理念，配合精密的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)高精度、高均勻度的勻膠操作。設(shè)備腔體采用聚丙烯材質(zhì)，具有耐熱性、電絕緣性、和良好的高耐磨加工性能等特點(diǎn)。本機(jī)腔體不可抽真空，工作時(shí)利用真空吸盤及氣路管線與外部真空泵相連，能很好的將樣件牢固的吸附在載樣盤上
產(chǎn)品型號(hào)：廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時(shí)間：2025-02-13訪 問 量：1391產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
詳細(xì)介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
|---|
產(chǎn)品簡介
VTC-100PAH真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體工藝、晶體、光盤、制版等表面涂膜制備。VTC-100PAH真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)是一款高性能精密勻膠機(jī)，采用了優(yōu)良的設(shè)計(jì)理念，配合精密的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)高精度、高均勻度的勻膠操作。設(shè)備腔體采用聚丙烯材質(zhì)，具有耐熱性、電絕緣性、和良好的高耐磨加工性能等特點(diǎn)。本機(jī)腔體不可抽真空，工作時(shí)利用真空吸盤及氣路管線與外部真空泵相連，能很好的將樣件牢固的吸附在載樣盤上，此方式操作簡便、樣件取放自如，吸盤真空度可達(dá)到﹣0.08MPa。旋轉(zhuǎn)主軸采用高速直流無刷電機(jī)，噪音低、振動(dòng)小、運(yùn)行更加平穩(wěn)、可靠性高、適應(yīng)性強(qiáng)、維修與保養(yǎng)簡單，電機(jī)啟動(dòng)快速穩(wěn)定，加速后運(yùn)行平穩(wěn)，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。VTC-100PAH真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)具有操作簡單、清理方便，體積小巧等優(yōu)點(diǎn)，主要應(yīng)用于各大專院校、科研院所的實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行薄膜的生成過程。
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品名稱 | VTC-100PAH真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī) | ||
產(chǎn)品型號(hào) | VTC-100PAH | ||
安裝使用條件 | 1、溫濕度：10-85%RH (at 25℃ 無凝露） 溫度：0-45℃。 2、設(shè)備周圍無強(qiáng)烈震源和腐蝕氣體。 水源 無此需求 3、電源：AC100-240V 50/60Hz 國標(biāo)三極插座 10A 必須有良好接地 4、氣源：真空負(fù)壓（真空泵）：抽氣流量不小于 70L/M 5、工作臺(tái)：建議 800X600X700mm 承重 50KG 以上(固體水泥臺(tái)為佳） 6、通風(fēng)裝置：無特殊要求 | ||
技術(shù)參數(shù) | 1、設(shè)備供電：DC24V 標(biāo)配適配器：IN AC100-240V 50/60Hz OUT DC24V 15A 2、總功率：150W(不含外接真空泵） 3、主機(jī)腔體（材質(zhì)）：聚丙烯+亞格力 4、載樣盤（吸盤）：2英寸、 4英寸各一個(gè) 5、運(yùn)行程序：包含16個(gè)運(yùn)行階段 6、涂膜轉(zhuǎn)速：1500-20000rpm有效(遞增量為：100rpm為單位) 7、增加速率設(shè)置范圍：100 rpm/s—6000 rpm/s 8、減速停車速率范圍：100 rpm/s—3000 rpm/s 9、時(shí)間設(shè)定范圍：1-99s(設(shè)定速度范圍：1500至10000rpm)； 1-60s(設(shè)定速度范圍：大于10000至20000rpm) 10、真空接口：快插接頭，采用φ8 PU管連接 11、操作控制方式：7寸觸摸屏(人機(jī)界面） | ||
產(chǎn)品規(guī)格 | 重量：12kg 外形尺寸：250×340×320mm | ||
備注 | 設(shè)備隨機(jī)標(biāo)配“電源適配器"，其規(guī)格參數(shù)為：IN：AC100-240V 50/60Hz OUT：DC24V 15A，設(shè)備實(shí)際供電以產(chǎn)品后部標(biāo)牌參數(shù)為準(zhǔn)。 | ||
標(biāo)準(zhǔn)配件
| 序號(hào) | 名稱 | 數(shù)量 | 圖片鏈接 |
| 1 | 真空吸盤（含O型圈）（2英寸和4英寸） | 2個(gè) |  |
| 2 | 滴液器 | 1個(gè) |  |
| 3 | 無油真空泵 | 1個(gè) |  |
| 4 | 適配器24V/15A | 1個(gè) |  |
可選配件
| 序號(hào) | 名稱 | 功能類別 | 圖片鏈接 |
| 1 | 其它尺寸的真空吸盤 | （可選） |  |
| 2 | 國產(chǎn)移液槍 | （可選） |  |
| 3 | 進(jìn)口移液槍 | （可選） |  |
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