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簡要描述：精密液體氣相發(fā)生器是針對實(shí)驗(yàn)室CVD實(shí)驗(yàn)中導(dǎo)入液體的系統(tǒng)，其液體流量是通過數(shù)字液體泵來控制，Z大流量為80ml/min，精確度為0.005ml。液體被蠕動泵導(dǎo)入到混氣系統(tǒng)后，被系統(tǒng)里的加熱裝置加熱成蒸汽，然后隨導(dǎo)入的氣體被帶入到爐管中。本機(jī)能夠?qū)С龆喾N液體，如ETOH、SnCl4、 TiCl4R、SiHCl3和Zn（C2H5）2，以及多種有機(jī)物混合。對于研究用CVD方法生長納米線和薄膜是的研
產(chǎn)品型號：廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時(shí)間：2016-04-12訪 問 量：1678產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
詳細(xì)介紹
產(chǎn)品型號 | 精密液體氣相發(fā)生器 |
主要特點(diǎn) | 1、流體和氣體在一個316不銹鋼罐中加熱。 2、采用30段程序化控溫。 3、氣體流速通過浮子流量計(jì)控制。 4、配有壓力表，可測出液氣混合罐中的氣體壓強(qiáng)。 5、配有兩個不銹鋼針閥，以控制氣體進(jìn)出。 6、可與本司所有管式爐和CVD系統(tǒng)相連接。 7、已通過CE認(rèn)證。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、電源：單相AC208V-240V 50Hz/60Hz 2、功率：1000W 3、蠕動泵：精確度±0.02%FS，流量0-80ml/min（可調(diào)） 4、zui高工作溫度：300℃ 5、控溫精度：±1℃ 6、浮子流量計(jì)：0-2000ml/min（可調(diào)） 7、出氣口：外徑1/4″ |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：350mm×335mm×300mm；重量：5kg |
| 可選配件 | 加熱帶（纏繞在外接的管道上，以保證液體蒸汽在傳輸過程中不會液化。）
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